CMG500 — серия высокоточных ёмкостных манометров (баратронов) абсолютного давления с керамической мембраной. Три варианта полной шкалы: 1000 мбар, 100 мбар и 10 мбар — позволяют выбрать прибор с оптимальным разрешением под конкретный технологический процесс.
Баратрон (ёмкостной)
3 варианта шкалы
±0.25 % точность
Газонезависимый
RS485 + 0–10 В
Выбор варианта по диапазону измерения
Каждый вариант CMG500 оптимизирован под определённый диапазон давлений. Разрешение всегда составляет 0.002 % от полной шкалы — поэтому чем меньше шкала, тем выше разрешение в абсолютных единицах. Выбирайте вариант с наименьшей полной шкалой, которая всё ещё перекрывает ваш рабочий диапазон.
| Вариант | Полная шкала | Диапазон (Па) | Разрешение | Типовое применение |
|---|---|---|---|---|
| CMG500-11 | 1000 мбар 10⁵ Па |
20 – 10⁵ Па | ≈ 2 Па | Роторные насосы, вакуумная упаковка, сушка, форвакуумный мониторинг от атмосферы |
| CMG500-21 | 100 мбар 10⁴ Па |
2 – 10⁴ Па | ≈ 0.2 Па | PVD-напыление, CVD, RIE-травление, магнетронное распыление |
| CMG500-31 | 10 мбар 10³ Па |
0.2 – 10³ Па | ≈ 0.02 Па | Лиофилизация, MBE, тонкоплёночные процессы, эталонные измерения |
Как выбрать: определите верхнюю границу рабочего давления вашего процесса. Выберите вариант CMG500 с полной шкалой, которая в 2–5 раз больше этой границы. Это обеспечивает оптимальное разрешение и исключает выход за пределы шкалы при кратковременных превышениях давления.
Общие характеристики серии CMG500
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Принцип измерения | Ёмкостная деформация керамической мембраны, абсолютное давление |
| Зависимость от газа | Отсутствует — одинаковые показания для любого газа |
| Точность | ±0.25 % от показания |
| Разрешение | 0.002 % от полной шкалы (зависит от варианта) |
| Аналоговый выход | 0 – 10 В DC (линейный) |
| Цифровой интерфейс | RS485 Modbus RTU |
| Реле | 2 × твердотельное реле, 60 В DC / 500 мА |
| Питание | 24 В DC |
| Вакуумное соединение (стандарт) | KF16 (DN16 ISO-KF) |
| Также доступно | CF16 (DN16 ConFlat), VCR 4", VCR 8", NPT 1/8" |
| Материалы (контакт с газом) | SS304, оксид алюминия (Al₂O₃), фторкаучук |
| Рабочая температура | −10 – +50 °C |
| Защита | IP40 |
Опции по запросу
| Опция | Варианты |
|---|---|
| Вакуумное соединение | KF16 (стандарт) / CF16 / VCR 4″ / VCR 8″ / NPT 1/8″ / нержавеющая трубная муфта |
| Выход | 0–10 В аналоговый (стандарт) / 4–20 мА / RS485 Modbus RTU / RS485 + 0–10 В |
| Уставки | 2 уставки (стандарт) / 3 уставки |
| Дисплей | Без дисплея / с 5-разрядным LED-дисплеем |
Подобрать вариант CMG500
Укажите рабочий диапазон давления, тип измеряемого газа, тип вакуумного соединения и необходимый тип выхода. Подберём оптимальный вариант и уточним наличие.