Абсолютный ёмкостной вакуумметр (тип Баратрон). Газонезависимый — показания не зависят от состава газа. Диапазоны: 0,2–20 мбар / 2–200 мбар / 20–1000 мбар. RS485 Modbus RTU, аналоговый выход 0–10 В, LED-дисплей, точность ±0,5% FS.
Технические характеристики
| Принцип измерения | |
|---|---|
| Тип | Абсолютный ёмкостной (Баратрон) — газонезависимый |
| Диапазоны измерения | |
| CMG500-020 | 0,2 – 20 мбар (15 – 1500 мТорр / 20 – 2000 Па) |
| CMG500-200 | 2 – 200 мбар (1,5 – 150 Торр / 200 – 20 000 Па) |
| CMG500-1000 | 20 – 1000 мбар (15 – 750 Торр / 2 000 – 100 000 Па) |
| Точность | |
| Точность (FS) | ±0,5% от полной шкалы |
| Повторяемость | ±0,1% от полной шкалы |
| Вакуумное присоединение | |
| Стандарт | KF16 (NW16) |
| По запросу | ISO63, CF35 / CF40 |
| Отжиг (KF) | 150 °C |
| Отжиг (CF) | 300 °C |
| Электрические интерфейсы | |
| Разъём | D-Sub 15-pin |
| RS485 | Modbus RTU |
| Аналоговый выход | 0–10 В (линейный, 0 → FS) |
| Дисплей | 5-разрядный LED (Па / мбар / Торр) |
| Питание | |
| Напряжение | +24 В DC ±20% |
| Потребление | ≈3,5 Вт |
| Конструктив | |
| Корпус | Алюминий (красная анодировка), Ø50 мм |
| Высота | 93 мм + 45 мм (KF16 штуцер) |
| Темп. работы | 0 … +50 °C |
| Темп. хранения | −20 … +70 °C |
| Влажность | 15–90%, без конденсации |
Газонезависимость: преимущество перед Пирани
CMG500 измеряет давление механически — через прогиб тонкой диафрагмы из нержавеющей стали. Электрическая ёмкость между диафрагмой и неподвижным электродом изменяется пропорционально давлению. Этот принцип полностью не зависит от теплопроводности или состава газа. CMG500 одинаково точен для: N₂, Ar, O₂, H₂, He, CO₂, органических паров, HCl, SF₆, NF₃ и их смесей.
Линейная характеристика аналогового выхода
В отличие от датчиков Пирани с логарифмическим выходом, CMG500 имеет линейную зависимость аналогового сигнала от давления. Это упрощает обработку в ПЛК/АЦП и повышает разрешение в середине диапазона.
Чертёж и габариты
Схемы подключения
