CMG500-21 — ёмкостной манометр полной шкалы 100 мбар (10⁴ Па). Оптимален для точного контроля давления в диапазоне среднего вакуума: RIE-травление, CVD, управление расходом газа через давление. Разрешение 0.2 Па.
Диапазон и разрешение
| Параметр | CMG500-21 (100 мбар) |
|---|---|
| Полная шкала (FS) | 100 мбар = 10⁴ Па = 75 Торр |
| Диапазон измерения | 2 – 1.0×10⁴ Па (0.015 – 75 Торр) / 0.02 – 100 мбар |
| Разрешение (0.002 % FS) | ≈ 0.2 Па / 0.002 мбар |
| Каталожный номер варианта | CMG500-21 (KF16, аналог 0–10 В + RS485) |
Когда выбирать CMG500-21
CMG500-21 с полной шкалой 100 мбар обеспечивает разрешение 0.2 Па — в 10 раз лучше, чем вариант CMG500-11. Выбирайте CMG500-21, когда:
- Рабочее давление технологического процесса составляет 1–100 Па (реактивное ионное травление RIE, магнетронное распыление PVD, CVD-осаждение)
- Необходима прецизионная стабилизация давления аргона или технологического газа с точностью лучше 1 Па
- Линейный ПИД-контур регулирования требует высокого разрешения по давлению для устойчивой работы регулятора
- Измеряемое давление редко превышает 10⁴ Па (не требуется мониторинг от атмосферного давления)
Для технологий PVD и CVD CMG500-21 является стандартным выбором: диапазон 2–10⁴ Па охватывает весь рабочий диапазон большинства процессов напыления и травления.
Принцип работы ёмкостного манометра
CMG500 использует сенсор с двумя круглыми тонкими керамическими дисками, образующими закрытую полость с постоянным опорным давлением. Когда измеряемая сторона находится под вакуумом, керамическая мембрана прогибается, изменяя ёмкость между электродами. Электронный блок преобразует изменение ёмкости в выходное напряжение 0–10 В с линейной зависимостью от давления.
Ключевые преимущества керамической мембраны: отсутствие гистерезиса (полное упругое восстановление), высокая коррозионная стойкость, независимость показаний от состава газа. CMG500-21 с полной шкалой 100 мбар обеспечивает разрешение 0.2 Па — стандартный выбор для прецизионного контроля давления в процессах PVD, CVD и RIE.
Линейный выход 0–10 В
Линейная зависимость выходного напряжения CMG500 от давления. Формула: P = (U/10) × P_FS, где P_FS — давление полной шкалы данного варианта.
Формула пересчёта напряжения в давление:
где U — выходное напряжение (В), PFS — давление полной шкалы данного варианта.
Передняя панель — дисплей и управление
CMG500: 5-разрядный LED-дисплей (Pa/Torr/mbar), 3 кнопки управления, 2 реле с программируемыми уставками.
Три кнопки позволяют задать: нулевую точку (HUC), уставки реле SP1 и SP2, единицы измерения (Pa/Torr/mBar), формат отображения (экспоненциальный / с плавающей точкой), адрес Modbus.
Варианты подключения
Схема 1: CMG500 → контроллер WGC150 (кабель CBL001-007, PN: 150-010). WGC150 обеспечивает питание +24 В и RS485-соединение.
Схема 2: CMG500 → ПЛК напрямую. Аналоговый вход 0–10 В на модуль АЦП. Питание +24 В от внешнего источника ADPT2402A (PN: 150-007).
Схема 3: CMG500 → ПК через USB/RS485 конвертер RSUSB01 (PN: 150-008). Программа GaugeReader 3.0 — отображение, запись трендов, установка уставок.
Технические характеристики (общие для всех вариантов)
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Точность измерения | ±0.25 % от показания |
| Повторяемость | ±0.1 % полной шкалы |
| Разрешение | 0.002 % полной шкалы (см. конкретный вариант) |
| Долгосрочная стабильность | не более ±0.5 % полной шкалы/год |
| Максимальное давление | 3×10⁵ Па (3 атм) — без повреждения |
| Время отклика | < 10 мс |
| Температурная компенсация | −20 – +80 °C, дрейф ±0.01 %FS/°C |
| Рабочая температура | −10 – +50 °C, влажность 5–85 % (без конденсации) |
| Аналоговый выход | 0 – +10.0 В постоянного тока, нагрузка ≥ 10 Ом |
| Цифровой интерфейс | RS485 Modbus RTU, 9600 бод, 8N1 |
| Реле | 2 × твердотельное реле, 60 В DC / 500 мА |
| Дисплей | 5-разрядный LED, единицы Па / Торр / мбар |
| Питание | 24 В DC ± 5 В, потребление ≤ 1.0 Вт |
| Защита | IP40 (IEC 529) |
| Разъём | D-Sub 15 Pin (VGA), штыревой |
| Вакуумное соединение (стандарт) | KF16 (DN16 ISO-KF) |
| Материалы (контакт с газом) | Нержавеющая сталь SS304, оксид алюминия (керамика), фторкаучук |
| Объём вакуумной камеры датчика | 5.0 см³ |
| Масса | 250 г (с фланцем KF16) |
| Габариты | 100 мм (высота) × 50 мм (диаметр, вкл. KF16) |
Габаритный чертёж CMG500 — три проекции.
Чистка и техническое обслуживание
При загрязнении керамической мембраны продуктами технологического процесса точность снижается, а нулевая точка уходит. Признак: нестабильные скачущие показания или невозможность вернуть ноль после калибровки.
Процедура чистки:
- Снять датчик с вакуумной системы, отключить от прибора.
- Извлечь защитную пробку из фланца KF16 (зажать пинцетом и потянуть).
- Протереть пробку мелкозернистой наждачкой P800, затем замочить в ацетоне на 30 минут, затем в спирте на 5 минут, высушить феном.
- Залить ацетон во фланец KF16 до краёв, выдержать 30 минут, слить. Повторить со спиртом. Просушить 30 минут на воздухе.
- Установить пробку обратно.
Запросить CMG500
Укажите в письме нужный вариант (диапазон), тип вакуумного соединения и тип выхода. Уточним наличие и сроки поставки.