Применение

Вакуумные датчики и контроллеры Instrue применяются в широком спектре научных и промышленных приложений.

Тонкоплёночные процессы

PVD (магнетронное напыление, термическое испарение), CVD, ALD — мониторинг давления на всех этапах: напуск, напыление, откачка. Рекомендуемые приборы: WPC400 (10⁻⁵–10⁵ Па), CMG500 (газонезависимый контроль давления напуска).

Масс-спектрометрия и газовый анализ

Контроль рабочего давления масс-спектрометра, RGA и систем натекания. Требуется диапазон до 10⁻⁵ Па: WPC400 или WPH300.

Полупроводниковое производство

Плазменное травление (RIE, ICP), имплантация ионов, фотолитография — мониторинг давления в камерах и транспортных модулях. Приборы: WPI200, PON100, VCT160 для многоканальных систем.

Криогенные системы

Мониторинг вакуумной изоляции криостатов, сверхпроводящих магнитов, систем СПГ. Диапазон и надёжность при низких температурах: WPC400.

Лабораторные установки и исследования

Молекулярно-лучевая эпитаксия (MBE), UHV-системы, ускорители частиц, рентгеновские источники — требуется высокая точность в диапазоне до 10⁻⁵–10⁻⁷ Па.

Для консультации по выбору датчика под конкретную задачу напишите на info@instruetech.ru.