WPC400 — широкодиапазонный вакуумметр с комбинированным датчиком Пирани + холодный катод. Единственный прибор от атмосферного давления 10⁵ Па до высокого вакуума 10⁻⁵ Па с сохранением линейности показаний и высокой надёжностью.
Принцип работы
WPC400 использует два независимых принципа измерения в одном датчике-зонде PG-400. В диапазоне от атмосферного до среднего вакуума (1–10⁵ Па) работает датчик Пирани (принцип теплопроводности газа). При давлении ниже 1 Па автоматически активируется холодный катод (принцип ионизации газа магнетронным разрядом Пеннинга). Переключение между режимами происходит плавно и прозрачно для системы управления.
Датчик Пирани в зонде PG-400 выполнен на основе нагреваемой вольфрамовой проволоки диаметром 0,025 мм. Холодный катод обеспечивает измерение в диапазоне 10⁻⁵–1 Па без расходного катода и риска «отравления» нитью накала — срок службы холодного катода значительно превышает срок службы горячего катода при работе в технологических средах.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Диапазон измерения | 10⁻⁵ – 1.05×10⁵ Па (9.75×10⁻⁸ – 750 торр) |
| Диапазон Пирани (нижний блок) | 1 – 1.05×10⁵ Па |
| Диапазон холодного катода (верхний блок) | 10⁻⁵ – 1 Па |
| Аналоговый выход | 0–10 В (логарифмический), нагрузка ≥ 10 кОм |
| Цифровой интерфейс | RS485 Modbus RTU (адрес 1–247, скорость 1200–115200 бод) |
| Питание | 24 В постоянного тока ± 10 %, ток потребления < 200 мА |
| Вакуумное присоединение | KF16 (DN16 ISO-KF) |
| Корпус | Анодированный алюминий |
| Разъём | D-Sub 9 pin (RS485) + 3-pin разъём питания |
| Сменный датчик-зонд | PG-400 (PN: 400-P01) |
| Кабель к WGC150 | CBL001-02 (PN: 150-002), 3 м |
| Рабочая температура | 0 – 50 °C |
| Температура хранения | −20 – 60 °C |
| Влажность | ≤ 90 % ОВ (без конденсации) |
| Масса | ≈ 280 г |
| Каталожный номер | 400-000 |
Характеристика выходного напряжения
График зависимости выходного напряжения от давления для WPC400 (Па, мм рт.ст., мбар). Диапазон Пирани — синяя кривая, холодный катод — красная.
Поправочные коэффициенты для различных газов
Датчик Пирани в составе WPC400 калибруется по воздуху (азоту N₂). При измерении давления других газов необходимо применять поправочный коэффициент. Ниже приведены типичные значения, подробные кривые — в руководстве по эксплуатации.
Поправочный коэффициент для датчика Пирани WPC400 при работе в различных газах. Ось X — истинное давление, ось Y — показания прибора.
Подключение к контроллеру WGC150
Схема подключения WPC400 к контроллеру WGC150 кабелем CBL001-02 (3 м). Питание +24 В подаётся от WGC150.
Беспроводное подключение через WFTC-001
Беспроводное соединение WPC400 с ПК через трансивер WFTC-001 (USB) и встроенный RF-модуль датчика.
Опционально WPC400 может быть оснащён встроенным беспроводным RF-модулем для связи с ПК через USB-трансивер WFTC-001 (PN: 150-009). Это позволяет измерять давление на удалённых вакуумных постах без прокладки сигнального кабеля RS485.
Область применения
- Напылительные установки PVD/CVD — контроль давления от прокачки до рабочего вакуума
- Форвакуумные посты в системах с турбомолекулярными насосами
- Промышленные вакуумные печи и термокамеры
- Установки молекулярной дистилляции и вакуумной заливки
- Криогенные системы и системы криопомпирования
- Замена устаревших датчиков Лейболда, Pfeiffer, Agilent при модернизации
Заказать WPC400
Укажите каталожный номер 400-000 и требуемое количество. Уточним наличие и сроки поставки.