Широкодиапазонный вакуумметр: датчик Пирани + холодный катод (Пеннинг). Диапазон 10⁻⁵ – 10⁵ Па. 5-разрядный LED-дисплей, RS485 Modbus RTU, аналоговый выход 0–10 В, 2 реле, опциональный беспроводной модуль WFTC-001.
Технические характеристики
| Измерительная часть | |
|---|---|
| Тип датчика | Пирани + холодный катод (Пеннинг), комбинированный |
| Диапазон, Па | 1×10⁻⁵ – 1×10⁵ |
| Диапазон, мм рт.ст. | 7,5×10⁻⁸ – 760 |
| Диапазон, мбар | 1×10⁻⁷ – 1000 |
| Единицы | Па / Торр / мбар (переключаются кнопкой) |
| Период измерения | 100 мс |
| Точность (после калибровки) | |
| 1×10⁻⁵ – 1×10⁻⁴ Па | ±20% |
| 1×10⁻⁴ – 1×10⁴ Па | ±10% |
| 1×10⁴ – 1×10⁵ Па | ±50% |
| Повторяемость | |
| 1×10⁻⁵ – 1×10³ Па | ±5% |
| 1×10³ – 1×10⁵ Па | ±25% |
| Вакуумное присоединение | |
| Исп. A — KF16 (NW16) | Все исполнения с одинаковыми электрическими характеристиками |
| Исп. B — KF25 (NW25) | |
| Исп. C — KF40 (NW40) | |
| Исп. D — CF35 / CF40 (UHV) | |
| Макс. давление | 1,5 атм абс. |
| Отжиг (KF) | 150 °C |
| Отжиг (CF) | 300 °C |
| Электрические интерфейсы | |
| Разъём | D-Sub 9-pin |
| RS485 | Modbus RTU, 9600 бит/с |
| Беспроводная связь | Модуль WFTC-001 (опция) |
| Аналоговый выход | 0–10 В (log P), нагрузка ≥10 Ом |
| Реле | 2 независимых реле с уставками давления |
| Питание | |
| Напряжение | +24 В DC ±20% |
| Ток / мощность | 1,0 А / 6,5 Вт |
| Конструктив | |
| Корпус | Нержавеющая сталь SS304 / SS316L |
| Нить / катод | Вольфрам + стекло Kovar 4J50 |
| Дисплей | 5-разрядный LED |
| Защита | IP40 (IEC 529) |
| Габариты (KF) | 120 × 61 × 49 мм |
| Масса (KF) | ≈550 г |
| Темп. работы | 0 … +45 °C |
| Темп. хранения | −40 … +75 °C |
| Влажность | 15–80%, без конденсации |
| Обслуживание | |
| Ресурс датчика | до 5000 ч |
| Разборность | Да — корпус разбирается для чистки и полировки |
| Сменный датчик | PG-400 |
| Контроллер | WGC150 (кабель CBL001-02) |
Принцип работы
WPC400 объединяет два независимых принципа измерения. Датчик Пирани работает от 10⁵ Па до ~10⁻³ Па, измеряя теплопроводность газа. При снижении давления ниже порога Пирани автоматически включается холоднокатодная ячейка Пеннинга, обеспечивающая измерения до 10⁻⁵ Па без нити накала. Переключение прозрачно для пользователя.
Аналоговый выход: зависимость напряжения от давления
Аналоговый выход 0–10 В логарифмически масштабирован. Диапазон 1,8–10 В соответствует 10⁻⁷–10⁵ Па. Три шкалы (Па, мм рт.ст., мбар) читаются по выбранной единице измерения.
Поправочный коэффициент для различных газов
Датчик Пирани калиброван по сухому воздуху / N₂. При работе с Ar, H₂, He, CO₂, Freon и другими газами необходим пересчёт показаний:
Схема подключения к WGC150
WPC400 подключается к контроллеру WGC150 кабелем CBL001-02 (3 м). Контроллер питает датчик напряжением +24 В DC и отображает давление на LCD-дисплее с двумя строками (P1, P2).
Беспроводная передача данных — модуль WFTC-001
Опциональный модуль WFTC-001 заменяет кабель RS485. Несколько датчиков WPC400 формируют беспроводную сеть с ПК или WGC150. Исключает необходимость кабельных трасс в сложных монтажных условиях.
Применение
- Напыление тонких плёнок PVD / CVD / ALD
- Молекулярно-лучевая эпитаксия (MBE)
- Плазменное травление (RIE, ICP)
- Масс-спектрометрия и остаточный газовый анализ (RGA)
- Криогенные установки и ускорители частиц
- Контроль вакуума в серийном производстве