PNP101 — Комбинированный MEMS + Пирани вакуумметр

PNP101 — комбинированный вакуумметр с двумя принципами измерения в одном корпусе: пьезоэлектрический датчик (MEMS) для диапазона средних давлений и датчик Пирани для низких давлений. Нержавеющая мембрана, фланец KF16, RS485.

Пьезо (MEMS) + Пирани 10 – 1.5×10⁵ Па Нерж. мембрана RS485 Modbus RTU PN: 101-000

Принцип работы

В диапазоне 1000–1.5×10⁵ Па (форвакуум и атмосфера) PNP101 использует пьезоэлектрический MEMS-датчик с нержавеющей мембраной. Этот принцип обеспечивает газонезависимые показания и высокую устойчивость к конденсату и агрессивным средам. При давлении ниже 1000 Па автоматически подключается датчик Пирани, расширяющий диапазон измерения до 10 Па.

Нержавеющая мембрана MEMS-датчика делает PNP101 предпочтительным выбором для систем, где возможен контакт с влагой, кислотами или щелочами — в отличие от вольфрамовой нити Пирани, мембрана не требует специального «прогрева» после воздействия агрессивной среды.

Технические характеристики

ПараметрЗначение
Диапазон измерения10 – 1.5×10⁵ Па
Диапазон MEMS (пьезо)1000 – 1.5×10⁵ Па
Диапазон Пирани10 – 1000 Па
Материал мембраныНержавеющая сталь 316L
Аналоговый выход0–10 В
Цифровой интерфейсRS485 Modbus RTU
Питание24 В постоянного тока
Вакуумное присоединениеKF16 (DN16 ISO-KF)
Рабочая температура0 – 50 °C
Каталожный номер101-000

Чертёж PNP101: диаметр 40 мм, длина 58 мм, фланец KF16. Компактный корпус для монтажа в ограниченном пространстве.

Область применения

  • Вакуумные системы с агрессивными технологическими газами (HF, Cl₂, NF₃)
  • Контроль давления в системах нанесения покрытий
  • Форвакуумный мониторинг в системах с конденсирующимися парами
  • Пищевое и фармацевтическое производство (нержавеющий корпус)

Заказать PNP101

Каталожный номер: 101-000.

Написать на info@instruetech.ru